HORIBA通過遍布**的運(yùn)營公司，提供面向多個行業(yè)的廣泛的儀器和系統(tǒng)，其中包括汽車研發(fā)、過程和環(huán)境監(jiān)測、體外醫(yī)療診斷、半導(dǎo)體生產(chǎn)與計量以及多種科學(xué)研發(fā)與質(zhì)控測量。HORIBA出類拔萃的質(zhì)量和值得信賴的性能，贏得了客戶的廣泛的信賴。我們在“新奇 有趣”這個別具一格的企業(yè)哲學(xué)的指引下，通過提供科學(xué)進(jìn)步所需的**產(chǎn)品，履行我們的社會責(zé)任——尤其是在保護(hù)健康、**和環(huán)境方面。遍布**每個角落的“HORIBA人”，期待著與您合作，為您提供滿足需求的*佳分析解決方案.
HORIBA提供多種自動注入裝置，**、可靠的傳輸液體到任何端點。針對半導(dǎo)體工藝挑剔的要求，HORIB提供的產(chǎn)品中需要接觸液體的零部件全部采用不銹鋼材料，以達(dá)到高性能的表現(xiàn)效果。HORIBA的直接注入式汽化器可傳輸TEOS、TEB、TEPO。針對光刻、擴(kuò)散工藝中用到的強(qiáng)腐蝕性材料，F(xiàn)DM系統(tǒng)選用抗腐蝕非金屬材料，保證工藝系統(tǒng)的壽命及**。FDM可傳輸液體PCL3或BBr3至HORIBA先進(jìn)的溫度補(bǔ)償鼓泡裝置裝置VM系列。
HORIBA榮獲液體傳輸系列大獎（FDM系列），此獎項表彰于HORIBA在擴(kuò)散工藝中成功開發(fā)了POCL3自動傳輸系統(tǒng)，實現(xiàn)POCL3傳輸特制塑料鼓泡裝置內(nèi)。FDM和VM系統(tǒng)適用于硅基電池片的擴(kuò)散制程，同樣可以用于BBr3的擴(kuò)散制程，減少運(yùn)輸和人力成本，提高**性.
規(guī)格
1.提高產(chǎn)能
VM系列(汽化傳輸系統(tǒng))無需使用傳統(tǒng)的石英鼓泡器更換，實現(xiàn)*小化停機(jī)時間，有效提供產(chǎn)能.
2.減少運(yùn)營成本
FDM系列可減少POCL3消耗：每公斤可降低30*的價格
依賴于持續(xù)工作，實現(xiàn)超過99.8*的正常運(yùn)營時間
減少POCL3浪費
更長的壽命，更低的維護(hù)成本，系統(tǒng)內(nèi)部工藝流程無需暴露于周圍環(huán)境
3.提高工藝穩(wěn)定
VM系列始終將液位保持”High”狀態(tài)，使整個工藝流程相比較石英鼓泡系統(tǒng)更為穩(wěn)定
由于鼓泡裝置的持續(xù)注入，液位將不會受到影響
無鼓泡裝置需更換，避免操作失誤
無環(huán)境溫度的影響
薄層電阻相較于傳統(tǒng)鼓泡裝置更為穩(wěn)定，再現(xiàn)性更出色
4.提升**性
無石英材料.VM系列將由PFD材質(zhì)構(gòu)建.
相較于石英材料,PFD更為堅固,無需替換
無需定期更換parts，減少人工操作失誤
POCL3將從20L的不銹鋼瓶傳輸控制至PFA管路
堅固、無泄漏的鼓泡外殼與廠務(wù)端鏈接排氣
集成液體泄漏，氣體泄漏監(jiān)測裝置
濕線清理與泄漏自動監(jiān)測
5.提高可靠性
POCL3是一款親水性強(qiáng)可產(chǎn)生磷酸導(dǎo)致腐蝕或結(jié)晶的液體。常規(guī)的鼓泡系統(tǒng)需要定期更換會導(dǎo)致提升與空氣接觸的可能性。HORIBA POCL3的自動注入系統(tǒng)不需要定期更換鼓泡系統(tǒng)，有效降低了POCL3管道與空氣接觸的可能性.