美國Aalborg氣體質(zhì)量流量計
發(fā)布日期:2020-08-30?瀏覽次數(shù):0
美國Aalborg Instruments Controls, Inc成立于1972年,是**上**的氣體質(zhì)量流量計/控制器的生產(chǎn)廠家,其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、材料科學、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點:性價比高、響應(yīng)速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護、備總量計數(shù)器
典型應(yīng)用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
設(shè)計特點:
-剛性金屬結(jié)構(gòu)
-流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
-*大壓力500psig(34.5Bar)
-泄漏率1*10-7氦氣
-NIST系統(tǒng)標定可追蹤的證明
-可傾斜的LCD讀表
-0-5Vdc或4-20mA信號輸出
-電路保護
-可用作便攜式的設(shè)備
-0到100%比例顯示
-可配備流量計算機
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